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本文件规定了微电子技术用贵金属浆料的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、
贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于烧结型及固化型微电子技术用贵金属浆料(以下简称"浆料")。非贵金属浆料也可参
照执行。
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 6739 色漆和清漆 铅笔法测定漆膜硬度
GB/T 13452.2 色漆和清漆 漆膜厚度的测定
GB/T 17473.1 微电子技术用贵金属浆料测试方法 固体含量测定
GB/T17473.2 微电子技术用贵金属浆料测试方法 细度测定
GB/T 17473.3 微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
GB/T 17473.4 微电子技术用贵金属浆料测试方法 附着力测定
GB/T 17473.5 微电子技术用贵金属浆料测试方法 粘度测定
GB/T17473.6 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定
GB/T17473.7 微电子技术用贵金属浆料测试方法 第7部分:可焊性、耐焊性测定
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
烧结型浆料 sintering pastes of precious metal
由贵金属或其化合物的粉末、添加物和有机载体组成的一种适用于印刷或涂敷的浆状物或膏状物。
注:在一定温度下(400℃~1600℃)能与基板烧结形成无机功能相。
3.2
固化型浆料 curable pastes of precious metal
由贵金属或其化合物的粉末、片状粉末、无机添加物、有机添加物、有机树脂和有机溶剂组成的一种
适用于印刷或涂敷的浆状物或膏状物。
注 :能在一定温度下(25℃~400℃)或在紫外光的照射下(波长为100
nm~400 nm 的电磁波)或在电子束辐射的
照射下(电子的能量为30 keV~300 keV)固化与基板附着形成功能相。
GB/T 17472—2022
3.3
固体含量 solids content
浆料在750℃灼烧后,剩余物质质量与试料质量的比值,以质量分数表示。(烧结型浆料适用)
浆料在一定温度(25℃~400℃)加热后或在紫外光(波长为100 nm~400nm
的电磁波)的照射下 或在电子束辐射(电子的能量为30 keV~300
keV)的照射下至恒重,剩余物质质量与试料质量的比
值,以质量分数表示。(固化型浆料适用)
3.4
细度 fineness of pastes
浆料中颗粒物的分散程度。
3.5
方阻 sheet resistance
浆料经固化或烧成后,为了比较浆料的导电性,统一折算成长宽相等且厚度为25.4
μm 时的导电膜
的电阻R□25m, 单位为Ω/□或 mΩ/□。
注:折算方法如公式(1)所示,导电膜示意图如图1所示。
R□25.4m=(R, ·A ·T)/(L ·25.4) …………………… (1)
式中:
R、 ——实测导电膜的电阻,单位为欧或毫欧(Ω或 m2);
A — 导电膜的宽度,单位为毫米(mm);
T — 导电膜的膜厚,如图1所示,单位为微米(μm);
L - 导电膜的长度,单位为毫米(mm)。
style="width:4.54001in;height:2.15336in" />
图 1 导电膜示意图
3.6
附着力 adhesion
浆料固化膜或烧成膜同基片的结合能力。
注:通常采用剥离方法测定。
3.7
浆料黏度 viscosity of pastes
浆料流体内阻碍一层流体与另一层流体作相对运动的特性的度量。
3.8
分辨率 resolution of pastes
浆料用丝网印刷,经烘干,烧成或固化后连续、清晰分离的线条的最小宽度和线间距的数值。
3.9
可焊性 solderability
在一定的焊接条件下,熔融焊料浸润浆料烧成膜难易程度的度量。
3.10
耐焊性 soldering resistance
在一定的焊接条件下,浆料烧成膜在熔融焊料中抵抗焊料侵蚀的能力。
GB/T 17472—2022
4.1 浆料按使用工艺分为烧结型浆料和固化型浆料。
4.2
浆料按其所含贵金属的种类分为单元浆料及多元浆料。单元浆料为含一种贵金属或其化合物的
浆料,多元浆料为含两种或两种以上贵金属或其化合物的浆料。
4.3 浆料的牌号由以下五部分表示:
style="width:4.61389in;height:3.99375in" />
P— 贵金属浆料。用大写英文字母P 表示贵金属浆料。
b— 工艺类型。烧结型浆料用S 表示;固化型浆料用C 表示。
c ——浆料用途。 C 表示导体浆料;R 表示电阻浆料。
d—
金属相成分。用化学元素符号表示金属名称,元素符号后的数字表示该金属占金属相的质
量分数。
e— 产品编号。各厂家根据实际需求自行定义产品编号。
示例:
PSC-Ag80Pd20-0120 表示编号为0120含银80%含钯20%的烧结型银钯导体浆料。
浆料应为均一色泽的浆状物或膏状物。
浆料主要技术指标包括固体含量、细度、方阻、附着力、黏度、分辨率、可焊性、耐焊性、固化膜硬度及
厚度,供需双方应对其他可接受的技术指标达成一致。
6.1 浆料各项指标的检测均应在温度15℃~35℃,相对湿度45%~75%,大气压力为86
kPa~
6.3 固体含量试验按GB/T 17473.1 的规定进行。
6.4 细度试验按GB/T17473.2 的规定进行。
6.5 方阻试验按GB/T 17473.3 的规定进行。
GB/T 17472—2022
6.6 附着力试验按GB/T 17473.4 的规定进行。
6.7 黏度试验按GB/T17473.5 的规定进行。
6.8 分辨率试验按 GB/T 17473.6 的规定进行。
6.9 可焊性、耐焊性试验按GB/T 17473.7 的规定进行。
6.10 固化膜硬度试验按GB/T 6739 的规定进行。
6.11 固化膜厚度试验按GB/T 13452.2 的规定进行。
6.12 其他的检测内容及检验方法由供需双方商定。
7.1.1
浆料由供方或第三方进行检验,保证产品质量符合本文件及订货单的规定。
7.1.2
需方应对收到的产品按本文件的规定进行检验。若检验结果与规定不符合时,应在收到产品之
日起一个月内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,可委托双方认可的单位进行取样检验。
浆料应成批提交验收,每批应由同一个牌号、同一批号的产品组成,批重不限。
供方根据需方对浆料的使用要求按照表1确定浆料的检验项目和取样方法。
需方提出的特殊检验项目,由供需双方商定,并在订货单中注明。
表 1 检验项目及取样方法
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从需方收到的不合格批号的产品中对剩余未开封的浆料进行取样,搅拌均匀,按7.3进行取样
检验。
GB/T 17472—2022
7.5.1 外观质量如有不合格,判该瓶不合格。
7.5.2
当除外观质量外的检验项目出现不合格时,应从该批次产品中随机抽取2瓶(包括原检验不合
格的那瓶)浆料进行该项目重复试验,并以重复试验结果作为该批次产品的检验结果,若仍有不合格,则
判该批产品不合格。
浆料用带密封盖的瓶子分装,每瓶浆料的重量由供需双方自行约定。每瓶浆料均应贴上标签,
注明:
a) 供方名称;
b) 产品名称;
c) 产品牌号;
d) 产品批号;
e) 瓶重;
f) 产品净重;
g) 储存条件、生产日期和保质期:
h) 警示标识或警示说明。
包装箱上应贴上标签,注明:
a) 产品名称;
b) 产品牌号;
c) 产品批号;
d) 瓶数和规格;
e) 生产日期;
f) 生产单位;
g) "易碎""防潮"和"防热"标志。
8.2.1
包装瓶应耐浆料腐蚀,不易破损。瓶口应用胶带缠绕密封,然后装入包装箱中,包装瓶四周应充
填安全物质。外包装参照GB/T 19445 的规定进行。
8.2.2 运输应防污染、防火、防潮、防热。有特殊需求时,在订货合同中注明。
8.2.3
浆料一般应在5℃~25℃下贮存,保质期限为6个月。对于特殊要求浆料的运输及贮存条件需
双方协商,并在订货合同中注明。
每批浆料产品应附产品合格证,注明:
a) 供方名称;
GB/T 17472—2022
b) 产品名称;
c) 产品牌号;
d) 批号;
e) 净重;
f) 各项检验结果和技术监督部门印章;
g) 产品对应的标准编号;
h) 生产日期。
需方可根据自身的需要,在订购本文件所列产品的订货单内,列出下列内容:
a) 产品名称;
b) 产品牌号;
c) 产品主要技术指标;
d) 产品重量;
e) 本文件编号;
f) 包装形式及要求;
g) 运输方式;
h) 特殊要求。
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